MEMS設計ソリューション

MEMS設計を加速し、MEMSを主流化する

MEMSおよびナノベース・エレクトロニクスの設計を加速し、MEMSを主流化させるためのソフトウェアソリューションを 開発・販売しています。MEMS/NEMS、集積回路（IC）、小型パッケージングを組み合わせた複雑な電子部品の設計を 加速する設計手法を提供。プラットフォームは多様なマルチフィジックス・ソルバーに対応し、 混在するMEMS/ICの挙動シミュレーションから、MEMSのモデリング、プロセス開発、テープアウト（製造データ出力）に 至るまで、設計・製造データの複雑なフローを最適に管理します。

製品プラットフォーム

主要な4つの製品プラットフォームを提供しています（UNIX / Windows / Linux 対応）。

主な機能

• ✓ 混在MEMS/ICの回路図入力
• ✓ モデリング
• ✓ シミュレーション
• ✓ 最適化
• ✓ 統計解析
• ✓ マスクレイアウト
• ✓ DRC（デザインルールチェック）
• ✓ 3Dモデル生成
• ✓ プロセスエミュレーション

適用範囲

• RF-MEMS
• マイクロフォン
• 光学デバイス
• フルイディクス（流体）
• バイオチップ
• 圧力センサー
• 加速度計
• ジャイロスコープ
• インクジェットプリンタヘッド

幅広い顧客基盤

お客様は小規模スタートアップから大手Fortune 500企業、政府研究所まで多岐にわたります。 また、活発な大学向けプログラムも運営し、次世代のMEMS設計を支えています。